金剛石砂輪對(duì)硅塊拋光的應(yīng)用

1、目前現(xiàn)狀

        硅片車間的開(kāi)方機(jī)由于進(jìn)來(lái)的提速切割，操作人員在實(shí)際的工作中，只要稍有疏忽就會(huì)造成硅塊的切割質(zhì)量不好。主要分為：切割的硅塊表面有鋸痕;硅塊的尺寸出現(xiàn)中間“鼓肚”現(xiàn)象;斷線引起的局部硅塊形狀彎曲。目前車間的毛刷式的砂輪已經(jīng)不能完全去除由于切割造成的鋸痕;對(duì)于“鼓肚”問(wèn)題的硅塊，由于毛刷式的砂輪的拋光能力有限，不能把中間大的尺寸去除。此時(shí)急需一種具有更強(qiáng)研磨能力的砂輪。

2、實(shí)施方法

       目前車間所使用的拋光機(jī)主要原理，依次通過(guò)粗砂輪、細(xì)砂輪對(duì)硅塊的表面進(jìn)行拋光。現(xiàn)在通過(guò)把拋光機(jī)的粗砂輪更換為金剛石砂輪，細(xì)砂輪使用毛刷式砂輪對(duì)硅塊進(jìn)行拋光。

        試驗(yàn)使用的是金剛石樹(shù)脂結(jié)合劑砂輪，天然和人工金剛石都可以用于磨削，金剛石是碳的一種超高硬度形態(tài)，因?yàn)樗鼘?duì)鐵有親和性而形成快速磨損，結(jié)合劑選用樹(shù)脂型結(jié)合劑，它有摩擦中的震動(dòng)，有一定的阻尼作用。利用金剛石砂輪的較強(qiáng)的研磨能力，可以把開(kāi)方機(jī)切割造成的一些硅塊表面的問(wèn)題如：切割的硅塊表面有鋸痕;硅塊的尺寸出現(xiàn)中間“鼓肚”現(xiàn)象;斷線引起的局部硅塊形狀彎曲，進(jìn)行基本的拋光，再使用細(xì)砂輪對(duì)硅塊的表面進(jìn)行優(yōu)化，可以取得更好的效果。

3、試驗(yàn)過(guò)程

       為了提高硅塊表面的拋光質(zhì)量，通過(guò)金剛石的粗砂和毛刷式的細(xì)砂結(jié)合。粗砂把硅塊表面的“鼓肚”和大鋸痕去除，然后細(xì)砂輪保證剩余的精拋光。在實(shí)際操作中必須保證以下幾方面：在金剛石的粗砂拋光時(shí)，更應(yīng)該給予充足的冷卻水，保證水路暢通保證砂輪前端蓋的安裝，使得水更均勻撒開(kāi)到砂輪上面確保機(jī)床研磨臺(tái)車下的“V”型槽的精準(zhǔn)性拋光時(shí)的研磨速度5—10mm/s

4、試驗(yàn)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)

       金剛石砂輪可以解決對(duì)于開(kāi)方機(jī)引起的問(wèn)題，主要分為兩個(gè)：金剛線開(kāi)方機(jī)引起的硅塊“鼓肚”問(wèn)題;砂漿切割引起硅塊表面大的鋸痕問(wèn)題。以下為兩種設(shè)備切割的硅塊的拋光前后的表面粗糙度的對(duì)比。